分析手段 | 典型应用 | 分析特点 | 参考标准 |
| 红外光谱FTIR | 有机物定性；有机污染物分析 | 能进行微区分析，其显微镜测量孔径可到8μm或更小，可方便地根据需要选择样品不同部分进行分析 | GB/T 6040-2002 |
| 扫描电子显微镜&X射线能谱SEM/EDS | 表面微观形貌观察；微米级尺寸量测；微区成分分析；污染物分析 | 能快速的对各种试样的微区内Be~U的大部分元素进行定性、定量分析，分析时间短 | JY/T 010-1996
GB/T 17359-2012 |
| 飞行时间二次离子质谱仪TOF-SIMS | 有机材料和无机材料的表面微量分析；表面离子成像；深度剖面分析 | 优异的掺杂剂和杂质检测灵敏度可以检测到ppm或更低的浓度；深度剖析具有良好的检测限制和深度辨析率；小面积分析 | ASTM E1078-2009
ASTM E1504-2011
ASTM E1829-2009 |
| 动态二次离子质谱D-SIMS | 产品表面微小的异物分析；氧化膜厚度分析；掺杂元素的含量测定 | 分析区域小，能分析≥10μm直径的异物成分；分析深度浅，可测量≥1nm样品；检出限高，一般是ppm-ppb级别 | ASTM E1078-2009
ASTM E1829-2009
ASTM E1504-2011 |
| 俄歇电子能谱AES | 缺陷分析；颗粒分析；深度剖面分析；薄膜成分分析 | 可以作表面微区分析，并且可以从荧光屏上直接获得俄歇元素像 | GB/T 26533-2011 |
| X射线光电子能谱XPS | 有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析；表面成分及化学状态信息；深度剖面分析 | 分析层薄，分析元素广，可以分析样品表面1-12nm的元素和元素含量 | GB/T 30704-2014 |