失效分析设备能力
电性测试：
LCR阻抗分析仪
高阻计
耐压测试仪
ESD测试仪
探针台
半导体参数分析仪
高精度图示仪
可编程电源
电子负载
示波器
频谱分析仪
数字/模拟集成电路测试机台
电磁继电器测试系统
形貌观察：
体视显微镜
金相显微镜
X-RAY透射系统
声学扫描显微镜
扫描电镜
透射电镜
聚焦离子束
制样设备：
机械开封机
化学开封机
反应离子刻蚀机
研磨抛光机
应力试验设备：
高低温试验箱-热循环试验
热冲击试验箱-热冲击试验
振动台-机械振动试验
恒定加速度试验台-恒定加速度试验
可编程电源-电压、功率老炼试验
电子负载-电流、功率老炼
频率发生器-老炼试验
浪涌发生器-浪涌试验
高温真空箱
其他检测设备：
颗粒碰撞噪声测试仪
氦质谱检漏仪
碳氟化合物粗检漏仪
键合拉力测试仪
剪切力测试仪
火花试验机
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