常见的破坏性物理分析（DPA）设备及能力
发布时间：2020-03-10 17:40:41
水汽分析仪
参数功能：
能够完成密封器件内部水汽及其他气体含量的定量测试；
高灵敏度、高分辨率的四极质谱分析仪，可分辨1~512原子量的范围， 配有双钨灯丝的交叉束离子源和90度离轴二次电子倍增器；
带有露点传感器的露点仪，至少包含3个校准腔体，体积分别为：0.3cc, 0.03cc, 0.05cc, 且含通用增湿器及校准软件包；
提供三个带加热功能的样品夹具，可测试常见的陶瓷DIP、DIP、QFP、PGA、TO封装以及side braze（铜焊）。
Phenom XL台式扫描电镜
参数功能：
光学显微镜：20×~120×；
电子显微镜：80~100000×；
分辨率：＜17nm；
成像时间：＜30S；
元素探测范围：C(6)~U(92)；
能量分辨率：＜137eV（Mn Kɑ）；
样品台尺寸： X:100mm，Y:100mm，Z：60mm
在DPA中用于评估玻璃钝化层完整性和芯片互连线金属化层质量。对内部目检中检出的多余物、键合、钝化层和金属化等严重缺陷进行进一步分析
观察微观形貌及元素成分分析
X射线透视仪
厂家：Nordson Dage 型号：XD7500 VR 参数功能：
1400 倍光学放大倍率 (4200 倍系统放大倍率)；
平板探测器像素点的尺寸<75μm；
平板探测器可360度无死角环绕旋转检测，可65度倾斜；
最大样品放置尺寸：736 × 580mm；
最大样品检测尺寸：508 × 444mm；
X-光检测适用于检测产品内部的结构性情况，如金线分布等。
超声扫描显微镜
厂家：德国 PVA TePla 型号： SAM 301 参数功能：
最大扫描范围：≥ 320mm×320mm；
最小扫描范围：0.2*0.2mm；
X，Y轴最大扫描速度：≥1000mm/s，速度可调；
扫描声学显微镜通常用于检测电子元器件、材料及PCB/PCBA内部的各种缺陷（如裂纹、分层、夹杂物、附着物及空洞等）。
在DPA中用于扫描声学显微镜检查。
剪切力拉力试验仪
厂家：Nordson Dage 型号：Dage 4000 参数功能：
内引线拉力传感器最大拉力：10kgf；
芯片剪切力传感器最大剪切力：100kgf；
焊球剪切力传感器最大剪切力：250gf；
在DPA中用于剪切强度和引线键合强度检查。